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SiCl₄是無色透明液體，極易揮發(fā)，有強(qiáng)烈的刺激性氣味，水解后生產(chǎn)SiO₂和HCl，具有強(qiáng)腐蝕性。SiCl₄的性質(zhì)列于下表。

SiCl₄的物理性質(zhì)和化學(xué)性質(zhì)

注：1kcal=4.18kj.

工業(yè)上SiCl₄的制備是在450~500℃下，將氯氣通入含硅量大于95%~99%、粒度3~5mm的硅鐵中制得，氯氣使用前應(yīng)脫水凈化處理。化學(xué)反應(yīng)式如下。

Si+2Cl₂→SiCl₄

該反應(yīng)為發(fā)熱反應(yīng)，爐內(nèi)溫度隨反應(yīng)加劇而升高，故需控制氯氣流量防止反應(yīng)溫度過高，溫度過高易生產(chǎn)Si₂Cl₆、Si₃Cl₈。反應(yīng)生產(chǎn)的SiCl₄蒸汽流入冷凝器，冷卻成液體SiCl₄流入貯罐備用。

SiCl₄的另一個來源是綜合利用半導(dǎo)體工業(yè)制造多晶硅的廢料——SiHCl₃的高沸點(diǎn)殘液，其中主要成分為SiCl₄，約占70%。

以上方法制備的SiCl₄中通常含有打了的雜質(zhì)氯化物。由于石英玻璃的純度主要取決于原料純度，因此SiCl₄純度對合成石英玻璃的質(zhì)量至關(guān)重要。提純SiCl₄的方法很多，有精餾、固體吸附、萃取、部分水解、絡(luò)合等。目前國內(nèi)多采用精餾提純，即利用SiCl₄與雜質(zhì)氯化物的沸點(diǎn)不同，進(jìn)行分餾而制取高純SiCl₄。SiCl₄原料中各種氯化物的沸點(diǎn)見下表。

分餾提純多采用填料塔和篩板塔，為避免塔體對產(chǎn)品的污染，最好采用石英玻璃制作塔體。篩選塔內(nèi)有上百層篩板，每一層篩板相當(dāng)于一次蒸餾，經(jīng)過上百層篩板蒸發(fā)、冷凝、氣液交換將SiCl₄分離出來，把不同沸點(diǎn)的雜質(zhì)氯化物分離出去，制得的SiCl₄純度可達(dá)1×10^-9。精餾操作過程中必須嚴(yán)格控制全回流時間、電壓、塔釜和塔頂溫度、出低沸點(diǎn)時間等參數(shù)。